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微波管式炉采用哪几种真空系统呢?

发布时间:2021-12-17      点击次数:358
  微波管式炉的*设计能够实现在真空保护条件下对样品快速升降温,四面加热,温场更均匀,立式结构使得气体排放更加顺畅,炉体垂直安装在可移动支架上有利于炉管取放温度的均匀性,可以预抽真空并能通氢气、氩气、氮气、氧气、一氧化碳、氨分解气等气体,该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,特别适合薄膜生长、电极测试、氧化物晶体生长、快速退火等实验需要。
  立式管式气氛炉主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,应用于高、中、低温CVD工艺,如碳纳米管的研制,晶体硅基板镀膜,金属材料扩散焊接以及真空或气氛下的热处理等。
  由于微波管式炉的种类是比较多的,并且每个对真空管式炉的真空系统要求都是不一样的,根据真空度而言,有低真空,中真空,高真空三个系统。下面来详细说一下这三个真空系统在微波管式炉中的实际应用。
  1、低真空系统
  真空管式炉的低真空系统适用于规划的真空管式炉,如预抽低真空井式炉,大多以油封式旋转机械泵为主泵。
  2、中真空系统
  中真空系统适用于真空度在规划的真空管式炉,中真空系统在真空管式炉的运用中是比较广泛的,一般由两级真空泵机组组成。初级泵多选用旋转机械泵或滑阀式机械泵,主泵为机械增压泵或油增压泵。
  3、高真空系统
  高真空系统一般由三级真空泵机组组成,主泵一般选用离子泵,初级泵大都也是选用旋转机械或滑阀式机械泵。
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